几个节点。
过了一段时间,半导体工艺的工艺演进路线,再次遇到了类似的问题。后世的14n,10n,7n的技术突破。都不是通过升级光刻机来实现的。
在光刻机无法升级的情况下,为了突破这个障碍,人们开始寻找别的突围方向。
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随着科学家们的脑洞大开,一个行之有效的方法,真的被找到了!
更为可喜的是,这个方法思路非常简单,而且特别适合这个时代。
在完全在不改变设备技术水平的情况下,可以提高晶圆的制程!
之所以这个方法没有被广泛宣传,是因为所有的晶圆厂都在使用。大家都在用的技术,自然就失去了神秘性和趣味性。
灯下黑,指的就是这种情况。