片刻，然后纷纷深吸了一口气。

是啊……新科差钱吗？

下面这些研究员的思维，主要还是没放开。一方面是之前的工作都是按部就班，主要方向就是挖掘现有技术的极限。从湿法蚀刻向干法蚀刻转变，或者再远点就考虑等离子刻蚀，这已经是业界最新动态了。

另一个人难免受社会环境影响，这种付出极大成本去减少很微弱误差的投入产出比，总感觉未免有些败家了。

虽然王中军的实验室每年的科研经费都不缺，可花钱毕竟也是需要想象力的。51

“当然，给房子装减震暂时还不到这一步。”

王中军若有所思，沉吟着说道：“不过，这确实是一条路子。”

正常的科研计划，当然是要考虑经济效益的，需要循序渐进来逐渐将一项技术发展成熟，然后再进行下一代技术的研发。

谁都知道碳化硅、氮化镓这些材料比硅晶圆的性能更好，但半导体产业还不是在吃单晶硅这条路线，还不知道要吃到哪一年去呢。

不把单晶硅的潜力挖光、不在经济上无利可图，产业界怎么有动力去更新换代？

但问题是，如今摆在王中军面前的并不是一个正常的研发项目。

微纳米级的纳米光栅，不仅时间紧、任务重，而且还关系到国家战略。就是在这个时候，我们才有一个优势，可以不去讲所谓的经济规律，去拼尽全力的做一件事。

在这一代中国人心中，时代的使命感仍然充满了崇高的精神。

成本，并不应该在王中军这个项目的考虑之中。

“我们必须推翻目前的技术路径，蚀刻法的加工精度是无法满足需求的。我们必须要有更高的加工能力，必须跳出目前的半导体加工思路……”

“更高加工能力……原子力显微镜怎么样？”

王中军的自言自语，让所有人都有些目瞪口呆。

“主任，你想怎么用原子力显微镜？那个咱们所一共也没几台，所长宝贝着呢！”

原子力显微镜在九十年代的中国确实是个稀罕玩意，不仅贵而且还不好买。实验室里要是有一台，就好像学校里开的机房一样，恨不得拿白布好好罩起来，谁也别用。

而且国内对原子力显微镜的应用还处于摸索阶段，属于那种拿它随便扫描一片树叶，都能到期刊上发一篇论文。

这么宝贝的设备，就怕王中军狮子大开口，占用了其他实验室的份额。

“原子力显微镜有三种操作方式，分别是非接触式、接触式和轻敲模式。”王中军的眼神忽然明亮起来，笑容中多了一些自信：“如果我们将轻敲模式的进程设定为负数，其实它的探针完全可以在材料上进行极为精细的加工啊！”

“可是……”

下面有人情不自禁的摇头：“这样一来，那探针也废了吧？”

原子力显微镜的原理并不复杂，就是用一根针头去“摸”出一幅图像来。针头可以和操作对象接触、不接触或者接触之后迅速离开——也就是轻敲模式。

当针头与被扫描物体接触，就会有多种力在这个过程中产生影响。通过对这些数据的计算，就能得到扫描的图像了。

可想而知，这样的探针必然是非常脆弱。像半导体所这样主要观测硬质材料，大多数时候使用的都是非接触模式，即使如此还经常会因为碰到材料突起导致探针损坏。只有观测生物材料等软质材料的时候，才会使用接触扫描。

正常使用中如果有谁敢把探针进程设置为负数，那他这辈子都别想进实验室的大门了。

“不对，ib前几年就用原子力显微镜操作过单个原子，所以这个路线应该是可行的。”

“ib只是刻了三个字母，我们要刻几百条光栅线，探针不知道要用掉多少，这成本